簡單介紹

圖片

備注說明

DJY—2A小型型等離子清洗機技術參數：

艙體尺寸： 270mX100（直徑）mm

射頻頻率： 40KHz

射頻功率: 150W

電 源： ~220V

電 流： 1.2A

外形尺寸: 450mmX450mmX200mm

整機重量： 15Kg

真空泵配置：2XZ—1型真空泵

DJY—3B型小型型等離子清洗機技術參數

艙體尺寸： 150mX150（直徑）mm
射頻頻率： 40KHz
射頻功率： 150W
電 源： ~220V
電 流： 1.5A
外形尺寸： 450mmX450mmX200mm（不包括外置艙體）
整機重量： 13.5Kg
真空泵配置：2XZ—1型真空泵
艙體材質： 石英玻璃

氣路設置：雙氣路

DJY—4A型小型型等離子清洗機技術參數

1.艙體尺寸： 270mX150（直徑）mm
2.射頻頻率： 40KHz
3.射頻功率： 200W
4.電 源： ~220V
5.電 流： 1.8A
6.外形尺寸： 500mmX500mmX240mm
7.整機重量： 17Kg
8.真空泵配置：2XZ—2型真空泵

DJY—2A型等離子清洗機工作圖

DJY—2A型機是科研機構、院校實驗室及小型物品處理工藝的*，其具有的手動與自動控制功能非常方便操作使用；中科院生物物理所、中科院過程控制所、中科院理化技術所、清華、北大、北理工、杭州諾爾康神經電子公司、廊坊安科光電公司、東莞博陽光電公司等用戶使用該機

主要應用于科研單位

DJY—2A型等離子清洗機發光艙體

我們給出的2A機艙體發光圖，意在使客戶初次使用等離子清洗機時，能夠了解艙體的發光色度對我們在實施過程中的影響因素和調節取向。常規的清洗和處理，我們無需外加特殊氣體，即能滿足處理和清洗的需要。同時該圖也是機器調試的參考標準：當外加氣體（Gas1）為普通大氣時，氣體的流量決定其發光色度，色度過重表示氣體流量過大，產生的離子數目過高，雖然對處理過程顯得效果明顯，但會使射頻電流急劇增加，造成溫度過高；而色度偏白時，意味著外加氣體過少，等離子產生的數目極低，也不適宜正常的處理清洗需要。故艙體的發光色度是一個多維參數，其主體是氣體流量。

主要應用于科研單位

DJY—4A型等離子清洗機工作圖

DJY—4A型等離子清洗機是常規的小批量生產用機型，如浙江大學、廣州大學、廈門三安光電公司、常州泰和光電公司、安徽格瑞特光電公司、深圳飛康光電公司等多家使用，特別適用于LED/LCD產業和太陽能硅片領域

主要應用于小型生產單位

DJY—4A型等離子清洗機發光艙體

參照2A機發光艙體的說明，由于艙體的容積有所區別，故氣體流量也不盡相同，但基本原理是一樣的。由于處理清洗的需要而外加特殊氣體時，其發光色度會有很大的變化，我們會在中給予指導。

主要應用于小型生產單位

內部結構

除艙體尺寸、功率器件有所不同外，DJY—2A型機與DJY—4A型機的內部結構基本是相同的，特點是布局合理、散熱好。

公開的內部結構

B型機電器管路圖

圖示的B型機電器管路（2A型、4A型，）基本相同，而3B型由于屬于外置艙體，連接略有區別。

公開的電氣部分

DJY-3B型機配套總體

DJY-3B型等離子清洗機特點是直觀且實用容積大，其zui大處理處理物品的體積可達100X100X100mm,其物理結構是刻蝕機的基礎機型。

主要應用于科研單位

每臺機器出廠要進行的檢測項目

A;真空度檢測
B:手動方式檢測
C:自動方式檢測
D:工作溫度檢測
E:zui大工作電流檢測
F:射頻頻率檢測
G:親水試驗

通過專業的儀器進行出廠前嚴格的檢測,保證每臺儀器的質量

南開大學物理學院光學室

光學玻璃鍍膜前處理

實驗室真實效果圖