超純水儀是應用在反滲透系統之后取代離子交換設備制取去離子高純水的設備，它與離子交換設備相比產水水質更穩定，全自動控制且運行費用低。
　　RO反滲透技術是一種利用膜分離去除水中離子的方法，盡管反滲透系統將水中95%-98%的離子去除，但還不能滿足部分工業生產的要求，其后續工藝必須使用離子交換設備。近幾十年以來，混合床離子交換技術一直作為純水制備的標準工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中使用大量的化學(酸、堿)和純水，因此已很難滿足于無酸堿純水系統。
　　將反滲透膜和樹脂結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命，解決了傳統的離子交換越來越無法滿足現代工業和環保的難題。EDI技術應用電再生離子交換除鹽工藝取代傳統混合離子交換除鹽工藝DI。通過離子交換樹脂及選擇性離子膜達到高脫鹽效果，與反滲透結合的聯合工藝使產水水質可達電阻率10~17MΩ·CM的高規格產水。
　　超純水儀產水電阻率不穩定原因有以下幾種：
　　一、進水中含鹽量太高；
　　二、進水中CO2含量太高；
　　三、進水PH值偏離中性值太大：預處理達不到EDI進水條件。
　　若是原水含鹽量高，建議采用雙極RO反滲透設備作為預除鹽，其電導率保持在1～3μS/cm為*；進水CO2含量高，建議采用脫氣膜或脫氣塔將CO2去除。pH偏離中性太多，采用pH調節，使EDI進水pH值在7～8即可。
　　超純水儀能夠有效的去除原水中的全部離子，可連續運行，24小時供水，出水電阻率長期穩定在15MΩ.CM以上，超純水技術在工藝設計上有很大的優勢和發展前景。